作为最终产品,芯片之所以能够可靠地工作,是因为它只有一个部件——一块覆盖着其他金属的硅。芯片中没有运动部件,除非你算上芯片内部运动的电子。但生产先进的半导体依赖于一些迄今为止最复杂的机器。阿斯麦的EUV光刻机是历史上最昂贵的大规模生产机器,其复杂程度非常高。如果没有阿斯麦工作人员的充分培训,其他公司就不可能使用阿斯麦的EUV光刻机,阿斯麦的工作人员在设备的整个使用寿命期间都会留在现场。每个EUV光刻机的侧面都有一个阿斯麦徽标。但阿斯麦欣然承认,阿斯麦的专长是能够协调一个由光学专家、软件设计师、激光公司和许多其他人组成的网络,这些人的能力是实现EUV光刻机梦想所必需的。
《通快通过激光交易整合EUV光刻供应链》(TrumpfConsolidatesEUVLithographySupplyChainwithAccessLaserDeal),2017年10月4日,
格鲁夫问过约翰·卡拉瑟斯一个问题:“它能行吗?”然后,格鲁夫将他的第一笔2亿美元投资于EUV光刻机。经过30年的时间、累积数百亿美元的投资、一系列的技术创新,以及世界上最复杂的供应链的建立,到2015年左右,阿斯麦的EUV光刻机终于准备好部署到世界上最先进的芯片制造厂。