如2016年支付给蔡司10亿美元，为蔡司
研发提供资金。这样，所有供应商都达到
严格标准。阿斯麦首席执行官彼得·温宁克（PeterWennink）告诉
家供应商：“如果你不守规矩，
们就会把你买下来。”这并不是个玩笑：阿斯麦最终买下包括西盟在内几家供应商，因为阿斯麦认为自己可以更好地管理它们。
伊戈尔·弗门科夫等，《批量制造EUV光源：技术、性能和功率放大》（LightSourcesforHigh-VolumeManufacturingEUVLithography:Technology，Performance，andPowerScaling），《先进光学技术》（AdvancedOpticalTechnologies），第6卷，第3-4期，2017年6月8日。结果，台拥有数十万个部件机器，花费数百亿美元和几十年时间来研发。奇迹不仅仅在于EUV光刻技术成功，还在于EUV光刻技术能够以足够可靠成本生产芯片。极端可靠性对于EUV光刻系统中任何部件都至关重要。阿斯麦为每个部件设定个平均使用时间至少为3万小时目标——大约四年后才需要维修。实际上，这些部件需要频繁地进行维修，因为每个部件不是同时失效。每台EUV光刻机成本超过1亿美元，因此如果每台机器离线小时，芯片制造商就会损失数千美元。
这里对计算光刻描述借鉴吉姆·凯勒，《摩尔定律没有死》（Moore'sLawIsNotDead），加州大学伯克利分校电子工程和计算机科学系活动，YouTube视频，2019年9月18日，种叫作计算光刻软件来更精确地打印图案。光与光刻胶产生化学反应原子级不可预测性给EUV带来新问题，而这在更大波长光刻技术中几乎不存在。为调整光线折射方式异常，阿斯麦工具以不同于芯片制造商希望印在芯片上图案投射光线。要想形成图形“X”，阿斯麦需要使用形状非常不同图案，但当光到达硅晶圆后，最终会产生“X”。
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