光源系统设备验收阶段圆满完成,接下来就是高阶光刻机
组装。
除
光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更精确镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发出来。
但这都不是问题。
因为最艰难光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩下arf光刻胶等技术要求很高,可相对来说，难度系数不是特别大。
林成建也很兴奋，他勉强保持冷静,对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计部正在攻破20nm以下鳍式场效应晶体管工艺，尽量保证
们能够生产出13.5nm工艺以上更高精度芯片。”
鳍式场效应晶体管是
种防止因高精度工艺而导致晶体管失去开关作用而发明工艺，采用3d立体晶体管架构，突破芯片晶体管22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握项核心技术。
陈惊璆：“那就交给你。”
“放心,会尽快解决这个技术难点。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶紧申请专利保护。”
盛明安：“知道。”
光源系统设备虽有多人团队协作发明,但真正突破该关键性技术人是盛明安，所以他是申请专利不二人选。
程院长凝视光源系统设备,长久无言。
直到林成建在盛明安身边提议专利申请,他才回过神来,深深呼出胸中那口沉淀多年郁气,心情畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”
盛明安惊讶：“您知道？”
“你是张教授得意门生，他经常在外面吹嘘你，申市光机所谁不知道？”程院长想起张群芳炫耀嘴脸就想翻白眼,他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果确能让科大酌情考量，同意你申请。不过同意是方面，能不能通过考试又是另方面事。”
提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。
学分不足前提下提前申请毕业也可以，通过科大校长、学院教授等权威人士考验就行。
“你剩下复习时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接下来设备完善、光源优化由来完成，你就专心复习怎
样？”程院长建议道。
盛明安思索几秒，点头同意。
程院长见他痛快点头，好笑询问：“你不怕趁你准备毕业复习偷走你科研成果？”
盛明安闻言飞快看眼程院长，表情有点言难尽：“程院，实验室里装满摄像头。”
想偷科研成果也得偷得到，就算偷到也得销毁蓝河科技团队研发阶段视频录像，否则就是身败名裂
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