方案可行意味着他们研发高阶光刻机方向是对!
不仅仅是解决复杂光源系统,更意味着他们可以组装出完整高阶光刻机系统,包括仿真建模里,模拟出来双工作台、反射镜等数据都可以应用!
但现在不是高兴时候,仿真建模只是高阶光刻机制造第步,接下来设备组装、研制才是关键。
光有设计图纸,没有适合材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。
雷客:“光源系统设备研制需要专业顶级工程师,蓝河科技恐怕人手不足。后期组装也需要其他实验室研究进度跟得上。”
闻言,杜颂笑容僵住:“还有资金和材料,光源系统设备材料不能用普通钢板,还有精度严格反射镜怎办?”
这些问题早就想到,那时盛明安让他们专心攻克光源系统,以至于直到现在用到才开始发愁。
林成建等人不由担忧,研发资金捉襟见肘,新材料倒是可以找华电科,就是不知道那些新材料是否符合标准。
就算新材料符合标准,精度至皮米反射镜目前国内没人造得出来。
盛明安:“陈惊璆会解决这些问题。”
科研人员只需负责研发工作就行。
“好,忙去吧。”盛明安挥挥手,赶走身后群人。
研发人员现在很兴奋,根本赶不走,围过来说:“盛工,再看眼——这复杂光源系统真是设计出来?!”、“觉得自己真tm是个天才!”、“脸还在吗?”
……
众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统仿真建模,盛明安则悄悄退出,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他办公室。
十几分钟过后,办公室门突然被撞开,陈惊璆喘着气跑进来,旋风似冲到他桌前,两只手撑在红木桌,俯视盛明安,深呼吸:“建模能用?”
盛明安抬眼,点头。
陈惊璆笑,移开目光,下刻又移回来看盛明安:“恭喜。”
盛明安:“同喜?”
陈惊璆轻声:“很高兴。”
盛明安:“别高兴太早,接下来是光刻机设备研发阶段,新材料找华电科购买,至于高精度反射镜,建议找春城光机所。”
春城光学精密机械所有个项目就是研发高精度大口径碳化硅反射镜,以他们技术,应该能制造出光刻机所需光学反射镜。
“材料和设备可以找到提供途径,专业工程师不太容易找。陈惊璆你自己想办法解决——唔?”
陈惊璆忽然伸手捏住他下巴,盛明安止住话头,疑惑看过去。
“陈惊璆,你不高兴?”
“没有。”陈惊璆小小用力捏捏盛明安下巴,咬牙说:“只是突然想罢工。”
“那……”盛明安迟疑着说
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