，X射线被发现。
二十世纪中叶，同步辐射被发现，弥补
X射线在亮度和偏振性
不足。
同时代，
种前所未有高亮度、全相干新型光源——激光诞生！
激光应用极其广泛，无论是生活中譬如二维码扫描还是尖端精密机器譬如光刻机，都有它无处不在身影。
几十年间，同步辐射光源装置历经三代发展，是产生高强度X射线最佳选择。
但同步辐射不是激光，不具备相干性，而三代同步辐光源亮度和相干性不能满足各领域科技更深需求，因此而出现第四代自由电子激光光源。
即与黑科技系统关卡‘X射线自由电子激光光源’相关。
2009年，美国第台基于直线加速器X射线自由电子激光调式成功，标志着激光光源进入个全新时代。
与此同时，华国申市光源‘第三代同步辐射光源装置’刚开始竣工验收。
2011年，美、德、日、意几个大国第四代自由电子激光装置已经基本完成建设。而华国才刚开始批复项目建设，至今还未有属于自己第四代自由电子激光装置！
盛明安对第四代自由电子激光光源倒是挺熟悉，因他前世研发光刻机，自然涉猎过构成光刻机核心技术之光源。
就目前而言，光刻机主流光源是激光等离子（LPP），因为西方高端科技封锁政策，国内LPP光刻机在学术上与国外壁垒相差实在太大。
但就未来发展而言，激光器将会碍于功率问题而限制光源制程，同时限制光刻机光源更进步发展，而解决方案就是第四代自由电子激光光源。
2006年，英特尔就曾提过利用FEL技术进行光刻。
话题扯远，就用最简单话语来说明所谓同步辐射光源吧。
将同步辐射光源比喻成眼睛，人们可以用这双眼睛观察微观世界原子、分子，其科学领域应用范围非常广泛。
这双眼睛经过发展更新至第四代光源（XFEL），技术水平等于说从三代‘拍照’瞬间提高到四代‘拍摄电影’！
而今全世界各国都在试图攻破超短脉冲、全相干、极化控制等功能高增益X射线FEL技术。
至于系统设置关卡‘阿秒超短脉冲XFEL’……emmmm，连美国都还没有攻破阿秒级超短脉冲XFEL装置。
华国第台软X射线FEL装置直到2016年才开始设备安装，第台硬X射线FEL到2025年才竣工，二者同时纳入国家重大科技基础设施项目，也是
国周期最长、投资最大超过百亿科技项目！
现在国内只有二三代同步辐射装置，装有同步辐射装置实验室就那
几个，还都必须是发表
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