日,https://www.osti.gov/servlets/purl/310916。《彼得·库兹博士访谈:“击中月球上的高尔夫球”》(InterviewwithDr.PeterKurz:“HittingaGolfBallontheMoon”),《光子学世界》(WorldofPhotonics),https://world-of-photonics.com/en/newsroom/photonics-industryportal/photonics-interview/dr-peter-kuerz/。《蔡司——为明天的微芯片开辟新天地》(ZEISS:BreakingNewGroundfortheMicrochipsofTomorrow),蔡司集团,YouTube视频,2019年8月2日,https://www.youtube.com/watch?v=XeDCrlxBtTw。蔡司面临的主要挑战是EUV难以反射。13.5纳米波长的EUV更接近X射线而不是可见光。与X射线一样,许多材料吸收EUV,而不是反射EUV。蔡司开始开发由100层交替的钼和硅制成的反射镜,每层厚度为几纳米。劳伦斯·利弗莫尔国家实验室的研究人员在1998年发表的一篇论文中确定了这是目前最佳的EUV反射镜。但是,制造这样一个具有纳米级精度的反射镜被证明几乎是不可能的。最终,蔡司创造了有史以来最光滑的镜子,其中的缺陷小到几乎难以察觉。蔡司表示,如果EUV光刻系统中的镜子按比例放大到德国面积大小,它们最大的不平整度是十分之一毫米。为了精确地引导EUV,EUV光刻系统中的镜子必须保持完全静止,这需要机械和传感器高度精确,以至蔡司宣称其可以让激光击中月球上的高尔夫球。
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